本发明为一种拉曼增强衬底的制作方法。本发明将基底(无机衬底)放入等离子体化学气相沉积系统中的生长区域,通入含有碳元素的反应源气体,控制反应源气体的气压值为0.01Torr‑760Torr;控制基底温度在300‑1200℃,开等离子体电源,设定等离子体功率为1‑1000W,使反应源气体分子裂解,活性基团在等离子体的作用下发生反应,在基底表面,生成
石墨烯量子点,通过调控生长温度和生长时间,制备不同尺寸的石墨烯量子点拉曼增强衬底。在所制备的拉曼增强衬底表面滴需要检测分子的溶液,通过激光拉曼仪器,测得高灵敏的拉曼增强信号。本发明制备的拉曼增强衬底,无污染,灵敏度高,可大面积制备,制备步骤简单容易实现。
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