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对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法

1006   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:10
本发明公开一种对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法，该方法包括：(1)使用磁控溅射技术在气体传感器四角元器件基底上溅射一层纯ZnO薄膜；(2)配制生长花状ZnO纳米棒团簇的溶液；(3)将溅射有ZnO薄膜的四角元器件基底放在所配制溶液中，在烘箱中分两步进行化学溶解，获得花状ZnO纳米棒团簇；(4)将四角元器件基底焊在元器件上并对乙醇进行气敏性能的测试。该方法制备的气敏材料对乙醇具有很高的灵敏度以及很低的检测极限。本发明操作简便，反应条件温和，可用于大规模的制备气敏传感器元器件，适用于工业化生产。
声明：
“对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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