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具有微观有序纳米结构SERS基底及制备方法

954   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:49
本发明涉及一种具有微观有序纳米结构SERS基底及制备方法，属于光谱分析领域。包括基材，基材表面具有周期性排列的柱状微纳结构，柱状微纳结构包括由第一材料构成的第一层，由第二材料构成的第二层，基材及柱状微纳结构表面包覆由第三材料构成的第三层，第三层上沉积的金属纳米颗粒，基材由第一材料构成。在硅片上生成SiO2层，采用自组装方式将聚苯乙烯胶体球附着在SiO2层上，通过退火或反应离子刻蚀对聚苯乙烯胶体球进行尺寸调控；通过金属辅助化学刻蚀或干法刻蚀对SiO2介质层及对SiO2和Si混合纳米结构进行刻蚀；在硅片上沉积金，通过电化学法沉积金纳米颗粒。此基底灵敏度高、重复性好、成本低、适用于大规模生产。
声明：
“具有微观有序纳米结构SERS基底及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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