本发明公开提供一种氦气回收提纯方法,其包括的步骤依次为:过滤;化学吸附;配气;加热;催化;冷却;一次净化;冷却;精馏;二次净化。本发明还公开了一种氦气回收提纯装置,该装置包括:过滤器;化学吸附装置;组分分析装置;加气罐;加热器;催化系统;冷却器;第一净化系统;粗氦冷却器;精馏塔;第二净化系统;以及氦气储罐。采用本发明的氦气回收提纯方法和装置,能够用于回收含有氦气的工业废气,将氦气的纯度提高,也可以深入提纯得到纯氦、高纯氦和超纯氦产品。相对于现有技术,采用本发明的氦气回收提纯方法和装置回收提纯氦气具有工艺简单、具有工艺简单、成本较低、环保高效且适用范围较广的优点。
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