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全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:48
一种全数字功率连续可调的电感耦合等离子体射频光源,属于无机分析仪器领域。包括:包括:RF控制电路、功率控制电路、功率电源电路、射频功率发生电路、气路控制电路、定向耦合器以及功率输出电路。计算机与RF控制电路之间采用串口连接,计算机发出控制信号,将输出功率作为参数传递给RF控制电路,控制信号经RF控制电路接入功率控制电路,功率控制电路根据控制信号的大小控制功率电源电路的输出电压,射频功率经由定向耦合器进入功率输出电路,输出功率信号进入功率控制电路进行闭环反馈。优点在于,可实现:光源点火自动化、氩气控制自动化、光源输出功率可在软件上进行连续设定,范围从650W-2000W,有利于分析性质不同的材料的化学成分。
声明：
“全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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