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可用于功率场空间分布精细控制的基台及控制方法

815   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:47
本发明涉及一种可用于功率场空间分布精细控制的基台及控制方法，属于化学气相沉积技术领域。在基台金属基底上设置若干个绝缘层，绝缘层将基台金属基底分成不同直径的环形或扇形区域；在基台金属基底内部、各绝缘层分隔的环形或扇形区域内，分别设置若干个可调电阻电容和阻抗检测单元；可调电阻电容用于对功率场空间分布进行调节，阻抗检测单元用于对该区域功率空间分布进行检测；控制模块能够对功率空间分布进行精准控制，使其逼近预期功率空间分布要求。通过绝缘层，减小相邻区域间的导电性，使得不同区域间的控制更加独立。进而通过在不同区域设置独立可控的功率调节装置，实现对功率场空间分布具有灵活和精细化的调控能力。
声明：
“可用于功率场空间分布精细控制的基台及控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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