本发明公开了一种基于化学还原氧化
石墨烯薄膜立式微纳结构的气敏传感器及其制备方法,首先将氧化石墨烯在溶剂中分散,通过控制还原条件在基底上自组装得到具有立式微纳结构的还原氧化石墨烯薄膜,再采用微加工和剥离技术在石墨烯表面制备金属电极,从而得到与基底结合较好的基于化学还原氧化石墨烯薄膜立式微纳结构的气敏传感器;本发明所得到的具有立式微纳结构的化学还原氧化石墨烯薄膜气敏传感器可实现对气体分子检测性能的提高,其制备方法工艺简单,适合于气敏传感器的批量制备。
声明:
“氧化石墨烯薄膜立式微纳结构气敏传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)