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用于提高AL-SiC基板防腐能力的处理方法

854   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:37
本发明提出一种用于提高AL‑SiC基板防腐能力的处理方法,首先对AL‑SiC基板表面进行喷丸封孔处理,之后对AL‑SiC基板进行有机溶剂除油、酸活化以及二次浸锌处理,最后对AL‑SiC基板先化学镀高磷镍60min~90min,再化学镀低磷镍30min~50min。本发明增加喷丸处理,可以降低Al‑SiC基板铸造缺陷,而且提高电镀后镀层质量,从电镀后镀层表面存在大量蝌蚪状气流痕改进为镀层外观均匀一致。通过增加喷丸处理和化学镀高磷镍、化学镀低磷镍工艺后,盐雾试验后基板从片状横向腐蚀改变为点状纵向腐蚀,可避免基板在使用过程中发生腐蚀时,电子元器件大量脱落风险,提高基板使用安全级别,抗腐蚀保护级别RP从5级提高8级。盐雾后按照ASTMB571规范对基板镀层结合力进行检测,结合力合格。
声明:
“用于提高AL-SiC基板防腐能力的处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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