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微型金刚石阵列电极及其制备方法

859   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:27
本发明提供一种微型金刚石阵列电极及其制备方法。包括：在绝缘层上制备钽金属层；在钽金属层上制备氮化硅保护层并进行第一图形化；在氮化硅保护层上制备二氧化硅牺牲层并进行第二图形化；在二氧化硅牺牲层上制备金刚石薄膜层并进行第三图形化。本发明采用MEMS技术结合二氧化硅牺牲层的图形化处理将BDD薄膜加工成超微电极阵列，进而提高BDD电极在电化学检测中的响应电流密度、提高信噪比和降低检测限。控制电极间距与其特征尺寸之比大于10，使得电极表面的离子扩散以非线性扩散为主，具有传质速度快、电流密度高和欧姆压降小等特点，在提高电化学检测的响应电流、提高信噪比和降低检测限方面具有独特的优势。
声明：
“微型金刚石阵列电极及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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