一体化微流体泵,属于生物医学微流体元器件,集流体驱动、混合,化学反应多功能为一体,以使得微分析系统结构简化,降低成本。本实用新型包括硅基片和与其键合的封底玻璃片,硅基片上采用光刻方法制备泵腔及与其连通的两个进口扩散管通道、一个出口扩散管通道;硅基片的表面开有液体进水孔和液体出水孔,分别与两个进口扩散管通道及出口扩散管通道的末端连通;硅基片表面正对泵腔位置粘贴有压电片;封底玻璃片泵腔位置粘贴有电加热金属片。本实用新型让生物溶液和化学试剂溶液在流动经过微泵泵腔的同时,完成混合和化学反应,从而省去单独的混合反应腔结构,这使得微分析系统结构大为简化,成本可望降低20%~30%,并具有更好的工作可靠性。
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