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基于微机电干涉平台的微型光谱仪

1035   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:32:28
本发明公开了一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪，包括光路系统和电路系统；光路系统包括光源、两个准直透镜、样品池、二向色镜、分光镜、全反射镜、微机电干涉平台、二向色镜、滤光片及其两个探测器；所述电路系统包括数据处理模块，数据处理模块包括光电检测、核心算法及光谱数据的处理；光源发出的光使样品池中的样品受到激发后发出样品光，透过样品池的光源经过分光后一束作为参考光一束作为反馈光。三种光经过一系列的作用后被送入电路系统，电路系统将采集的样品光的光谱信息发送到光谱数据库系统中，与光谱数据库中已知的数据进行对比，以此来判断未知物质的化学组成。本发明可以方便的判断出未知物质的化学组成，并且低成本，精度高。
声明：
“基于微机电干涉平台的微型光谱仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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