本发明公开了一种多注行波管栅极的制作工艺,包括:钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序;本发明工艺流程看似复杂,实则非常简单,其通过常规车加工工艺、钳工工艺、酸洗工艺、去油工艺及零部件尺寸及精度检测工艺,制备多注行波管栅极,其在常温常压下即可完成栅极的制备。本发明适用的工艺简单,制作成本低廉,并能够保证制备的栅极的工艺精度。
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