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热丝CVD金刚石设备灯丝的排列方法

830   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:50
本发明提供一种热丝CVD金刚石设备灯丝的排列方法，具体包括以下步骤：准备热丝若干N，热丝设置在基体的上端部，基体设置在底板的上端部，热丝间距Tw由中间向两边的热丝间距各不相同；对底板上的基体进行酸碱腐蚀处理；处理后的基体放进化学气相沉积设备，进行金刚石涂层沉积；观察基体四个不同位置的金刚石微观形貌，分析金刚石纯度及晶粒取向，测试金刚石涂层与基体的结合强度，以及中心基体的金刚石微观形貌及纯度。本发明提供的热丝CVD金刚石设备灯丝的排列方法，通过改善灯丝的排列方式，使得沉积腔室内温度分布均匀，在进行大批量的工业化生产时，所制得的CVD金刚石薄膜产品表面形貌以及内应力的分布更为均匀。
声明：
“热丝CVD金刚石设备灯丝的排列方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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