本实用新型的湿法工艺监控装置是利用歧管连接到湿法工艺溶液槽,使得所述湿法工艺的化学溶液流过其中以进行检测。其包含去气泡装置、流体单元、微粒检测器和化学溶液浓度检测器。所述去气泡装置连接到所述歧管,用于将所述化学溶液中的气泡去除,以去除噪声。所述流体单元连接到所述去气泡装置,使得所述化学溶液流通其中。所述微粒检测器用以检测所述流体单元中所述化学溶液的微粒数。所述化学溶液浓度检测器是用以检测流体单元中所述化学溶液的浓度。
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