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基于应力的传感器、方法及应用

887   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:08
一种复合分析物传感器，其包括基底；微机电或纳机电(MEMS；NEMS)谐振器，所述谐振器在该谐振器的至少两个边缘位置处被耦连到所述基底(即它至少是两端固支)，其中所述谐振器在该谐振器的屈曲转变点附近处于静态屈曲状态；以及覆盖在谐振器的至少一部分表面上的化学反应物，该化学反应物当暴露于给定的分析物时发生会发生构象变化。所述谐振器可以是两端固支的静态屈曲梁(或桥)、多端固支的静态屈曲圆顶(或火山口形)或者其他谐振器几何形状。所述传感器可包括两个或更多个至少两端固支、静态屈曲的复合MEMS或NEMS谐振器，每个谐振器均在相应谐振器的屈曲转变点附近工作，并且每个传感器的特征通过不同的谐振频率来表征。一种感测周围空气中的分析物的方法。
声明：
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