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快速评估微孔填充用电镀配方性能的装置和方法

676   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:06
本发明提供了一种电化学分析装置和一种用于评估微孔填充用电解液电镀配方性能的方法。电化学分析装置包括：电力产生装置、电输出信号测量装置、电化学测量装置和运动发生器。本发明的电化学测量装置包括一支撑结构、一空腔、一腔电极和一表面电极。在电镀期间，测量腔电极和表面电极的电输出信号，用于计算填充性能值。本发明提供了一种准确、快速和成本有效的方法，用于评估电镀配方的性能，以选择最高填充性能值的电镀配方用于实际微孔填充过程。
声明：
“快速评估微孔填充用电镀配方性能的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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