本发明提供了一种用于免疫电子显微镜‑X射线显微成像‑纳米离子探针技术的复合载网及其制备方法。该复合载网包括一钼环作为支持基底,基底之上依次为导电胶、坐标铜网、芳华膜、导电碳膜、氮化硅膜、导电碳膜。本发明所述复合载网具有良好的支持强度及导电性能,并可以提供样品中感兴趣区域的定位信息,因此可以成功实现IEM、STXM‑XANES以及Nano‑SIMS三种技术联用,对70‑100nm厚度电镜切片样品中的感兴趣区域进行蛋白信息、元素化学形态信息以及同位素信息的原位分析;同时可以降低IEM制样标记操作过程中破损的概率及程度,有效提高观察范围,实现STXM和Nano‑SIMS分析的准确定位,并大幅度提高Nano‑SIMS的检测效率。
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