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多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器

1073   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:12
本发明公开了一种多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器,通过分析待测气体的红外透射谱,确定所测气体的种类和浓度,该传感器由制作在硅衬底上的光源(1)、气室(2)、一维光子晶体滤波阵列(3)、红外光强检测阵列(4)构成,其中,光源(1)发出的红外光进入气室(2),与待测气体相互作用后,通过一维光子晶体滤波阵列(3)不同的滤波通道出射;各滤波通道出射的光强信号在红外光强检测阵列(4)对应的不同检测单元上分别转化为电信号输出,不同位置的检测单元输出的信号强度体现了待测气体对不同波长的红外光的吸收情况,通过测量待测气体的透射谱,并与预存图谱特征比较,借助化学计量学算法,可判断气体成分并确定其浓度。
声明：
“多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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