本发明属于半导体薄膜技术领域,具体涉及一种BiOCl二维材料的制备方法。该方法选择氯化铋作为铋源,并在距离铋源一定位置放置衬底,在氩气和氧气的混合气中对所述铋源进行加热处理后,冷却至室温,以得到BiOCl二维材料。本发明采用化学气相沉积法为制备方法,该制备方法工艺简单、成本低廉,可以获得单一相的BiOCl二维材料。
声明:
“BiOCl二维材料及BiOCl光电探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)