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铜互连可见-红外探测器的制备方法

718   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本发明提供一种铜互连可见‑红外探测器的制备方法，包括：S1、分别在读出电路和感光层上制备铜柱；S2、分别在读出电路上的铜柱间的间隙内和感光层上的铜柱间的间隙内填充二氧化硅或氮化硅形成复合层；S3、采用光学对准方法将读出电路和感光层上的铜柱对准；S4、采用低温退火方法使读出电路上的铜柱与感光层上的铜柱键合；S5、对键合后的感光层进行化学机械抛光，以将感光层的衬底去掉，获得铜互连可见光‑短波红外探测器。利用上述本发明能够实现可见光‑红外光的宽光谱探测。
声明：
“铜互连可见-红外探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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