合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品

测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品

949   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本实用新型提供了一种测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品，包括衬底、第一氧化层、多晶硅结构、第二氧化层和氮化钽层，所述第一氧化层设在所述衬底上，所述多晶硅结构设在所述第一氧化层与所述第二氧化层之间，所述氮化钽层设在所述第二氧化层上，本实用新型通过多晶硅结构与氮化钽层的引入，尤其是氮化钽的引入，使得其有效地避免了“电荷效应”对校准用样品的影响，减少了碳氢化合物污染的淀积，增加了测量的准确性，提高了测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品的使用寿命。与此同时，通过第二氧化层的引入，有效避免了氮化钽与多晶硅的化学反应。
声明：
“测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：铸锭生长测试棒
下一个：原位高压紫外光谱的测量装置

与 “测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品” 相关技术

▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置
▪ 风机生产用自动冲拔一体机
▪ 粉碎机出料仓除尘结构
▪ 活性炭吸附过滤水循环利用装置
▪ 面粉加工用高效磨粉机
▪ 带静刀的立式粉碎机
▪ 通风机的过滤装置
▪ 立式双盘磨粉机的超细研磨盘
▪ TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材

相关化学分析设备推荐

粉末颗粒流动性分析仪
大连瑞安随身式四合一气体探测仪
拉曼光谱仪
数字式土壤碳酸钙测定仪
激光氧分析仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置
▪风机生产用自动冲拔一体机
▪粉碎机出料仓除尘结构
▪活性炭吸附过滤水循环利用装置
▪面粉加工用高效磨粉机
▪带静刀的立式粉碎机
▪通风机的过滤装置
▪立式双盘磨粉机的超细研磨盘
▪TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材

报名参会
更多+

中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记