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用于制造辐射热探测器的方法

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明公开了一种用于制造辐射热探测器(100)的方法，包括以下步骤：在读出电路的互连层级(20)上制造堆叠，该堆叠包括位于载体层(32)和蚀刻停止层(29)之间的牺牲层(30)，该牺牲层包括矿物材料；制造导电通路(38)，所述导电通路穿过所述堆叠以使该导电通路与所述互连层级的导电部分(21)相接触；将导电层沉积在所述载体层和所述导电通路上；蚀刻所述导电层和所述载体层，形成测辐射热计膜(54)，所述测辐射热计膜(54)通过所述导电层的剩余部分(44)电连接到所述导电通路，所述剩余部分(44)覆盖所述导电通路的上部(40)；通过选择性的化学蚀刻去除所述牺牲层，以使得所述膜通过所述通路悬置。
声明：
“用于制造辐射热探测器的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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