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金属/石墨烯/多晶金刚石膜粒子探测器制备方法

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明公开了一种金属/石墨烯/多晶金刚石膜粒子探测器制备方法，属于核物理技术领域，其步骤为先于Ar和H2等离子体气氛中700‑800℃温度范围对金属基体进行热处理，再关闭Ar通入CH4，调节微波功率于600‑700℃的金属基体表面生长石墨烯层，最后再调节H2、CH4比例、微波功率及铜箔温度，在800‑900℃基体温度范围、1.66~4.50%的甲烷浓度条件下生长0.25～0.5 mm厚的高质量多晶金刚石膜，形成基于金属+石墨烯欧姆接触电极的金刚石粒子探测器；上述步骤优选在同一套微波等离子体化学气相沉积装置中完成，在同一套装置中通过原位连续生长构建探测器整体结构，材料不需在不同设备间转移，本发明的方法制备效率高、步骤简便、成本低，且能保证各层材料制备的高质量。
声明：
“金属/石墨烯/多晶金刚石膜粒子探测器制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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