本发明涉及硅衬底的湿法化学处理领域。本发明尤其涉及一种用于测定水性处理液中的硝酸浓度的方法,所述水性处理液用于处理诸如由硅制成的衬底。该方法是基于使用消除剂的UV光谱法/光度法进行的硝酸根离子的测定,所述消除剂有效除去由其他物质引起的干扰吸收。硝酸根离子的浓度对应于硝酸的浓度。根据本发明,提供一种确实的方法,使用该方法可以非常精确地测定酸混合物中的硝酸的含量,特别是在未使用的酸混合物中,对应于使用目的而使用过的酸混合物中也可以同样测定。
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