本发明提供一种电容-电压测试预处理的方法,包括如下步骤:提供一待测试片;将所述待测试片置于臭氧环境中进行预处理,以形成一氧化层。本发明的优点在于,采用臭氧处理测试片表面后,大大简化了处理的流程,缩短了预处理的时间,仅占现有预处理方法20%左右的预处理时间。并且由于不使用化学药剂,具有处理更加高效、更加环保、更加安全、更加节约成本、且测试重复性好等优点。
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