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基于Bi2O2Se薄膜/Si异质结的自驱动光电探测器及其制备方法

1000   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:50
本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该自驱动光电探测器，由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、硒氧铋薄膜层和硅单晶基底。硒氧铋薄膜层通过旋涂法、空气退火处理、化学气相沉积、湿法转移等方法制备。测试结果表明，构建异质结极大地提高了硒氧铋基器件的光响应性能，且该器件表现出良好的自驱动光探测性能。
声明：
“基于Bi2O2Se薄膜/Si异质结的自驱动光电探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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