本发明涉及一种MV级宽动态范围的电压峰值测量方法,解决现有脉冲电压测量方法不适用数MV电压测量的问题。该方法包括以下步骤:步骤一、建立氢离子径迹直径和氢离子峰值能量的对照表;步骤二、建立脉冲功率装置电压峰值与氢离子峰值能量的对应关系表;步骤三、将氢离子挑出作为待测粒子;步骤四、预估待测脉冲功率装置电压峰值的上限;步骤五、氢离子能量衰减;步骤六、形成潜径迹;步骤七、将潜径迹化学蚀刻处理;步骤八、利用显微测量设备对放大后潜径迹进行判读;步骤九、获取氢离子径迹直径;步骤十、获取氢离子峰值能量E
i1;步骤十一、计算氢离子峰值能量E
imax1;步骤十二、反算出脉冲功率装置的电压峰值。
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