本发明属于显微成像及光谱测量技术领域,涉及一种激光差动共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置,可用于样品的微区形态参数综合测试与高分辨成像。该方法与装置在光谱探测中融入差动共焦技术,利用差动共焦技术进行样品位置探测,利用光谱探测系统进行光谱探测,利用传统共焦拉曼光谱探测技术遗弃的布里渊散射光对材料的弹性和压电等性质进行测试,从而实现样品微区高空间分形态参数测量。本发明具有定位准确,高空间分辨,光谱探测灵敏度高和测量聚焦光斑尺寸可控等优点,在生物医学、法庭取证、微纳制造、材料工程、工程物理、精密计量、物理化学等领域有广泛的应用前景。
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