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基于氮化镓薄膜的微型柔性紫外探测器及其制备方法

770   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:48
本发明公开了一种基于氮化镓薄膜的微型柔性紫外探测器及其制备方法。采用金属有机化学气相沉积法在石墨烯/介质材料为复合衬底上直接生长晶圆级、低应力氮化镓薄膜，经机械剥离，从衬底上得到可整体转移的氮化镓薄膜，通过掩膜制作金属电极，再将氮化镓薄膜转移到柔性衬底上，制成柔性紫外探测器，实现对紫外光的探测。本发明提供的技术方案，切割方法快速，可批量、低成本制作氮化镓基微型紫外探测器。本发明提供的微型柔性紫外响应探测器，其典型尺寸为0.01～100mm2，并同时具有较高的灵敏度，能支持在复杂的野外环境下工作，可应用于微型、可穿戴的紫外探测设备。
声明：
“基于氮化镓薄膜的微型柔性紫外探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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