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台面式硅掺砷阻挡杂质带探测器及其制备方法

768   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:48
本发明提供了一种台面式硅掺砷阻挡杂质带探测器及其制备方法,包括在高导硅衬底上外延生长硅掺砷吸收层,掺杂砷离子;在吸收层上外延生长高阻硅阻挡层;再通过光刻、离子注入、快速热退火、深硅刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、反应离子束刻蚀、湿法腐蚀、电子束蒸发等工艺制作正、负电极。本发明的优点在于:采用化学气相沉积法外延生长硅掺砷吸收层,便于增加吸收层厚度和调节掺杂浓度,提高吸收层的吸收效率及器件响应率,避免了离子注入引起的损伤,降低了暗电流;将负电极设置在高导硅衬底上,缩短了光生载流子的输运路径,降低了光生载流子被高导硅衬底中杂质和缺陷俘获的几率,进一步降低器件的暗电流,提高响应率。
声明:
“台面式硅掺砷阻挡杂质带探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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