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金属连线短路测试结构

696   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本实用新型提出了一种金属连线短路测试结构，包括块形金属连线、条形金属连线和形成于两者之间的介质层，并且一部分区域条形金属连线的下方有块形金属连线，另一部分区域的条形金属连线的下方全部为介质层，条形金属连线分为保持隔离的两部分；从而模拟实际生产中化学机械研磨由金属连线密度不同造成的凹陷，凹陷造成的上方条形金属连线短路的现象，然后通过测试条形金属连线的电阻值，依照其电阻值的大小来判断条形金属连线之间是否存在短路，进而判断化学机械研磨造成的凹陷对金属连线是否存在短路的影响。
声明：
“金属连线短路测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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