本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法,该紫外探测器的制备方法包括清洗钛片、
电化学腐蚀钛片预处理、生长p型GaN纳米阵列、电化学腐蚀制备TiO
2和蒸镀电极,该紫外探测器具有较高比容的GaN和TiO
2,生成异质结电场,可实现对光生电子/空穴的快速分离。本发明得到的紫外探测器具有较高的暗光电流比,同时具有自驱动和高响应速度等特点。
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