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紫外光探测器的制备方法

958   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:10
本发明涉及一种高性能的紫外光探测器的制备 方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明方 法采用传统的、现有的热丝化学气相淀积装置，在硅片衬底上 (100)晶面上淀积金刚石薄膜，再在此金刚石薄膜层上蒸镀一定 厚度的金电极，并经光刻工艺形成指宽和间距均为25微米的 叉指状梳状电极，并用镁铝丝引线引出，最终制成金刚石膜紫 外光探测器。此金刚石膜紫外光探测器能达到的性能指标为： 暗电流＜1nA/cm2，响应时间接 近10－10秒，其综合性能优于其 他紫外光探测器。
声明：
“紫外光探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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