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侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯

1005   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:59
本发明公开了一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯;涉及一种光探测器;具体地说,涉及光探测器的管芯结构。该管芯是在掺铁的半绝缘半导体InP衬底1上,通过有机金属化学汽相淀积技术,沿着垂直方向逐次生长缓冲层2、下光波导层3、光吸收层4、上光波导层5、光限制层6和接触层7;通过刻蚀技术,使之形成孤岛状上、下两个台形部分;上台形部分包括3至7层,其水平面为(半椭圆-矩形-半椭圆)形状;下台形部分是第2层,为矩形形状。最后通过解理技术,把连体式管芯分成2个侧面进光的光探测器管芯。该管芯具有结构简单、体积小、进光平面解理容易、芯区面积可微调、组装耦合方便、和共面波导连接兼容等特点。
声明：
“侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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