一种在超过400℃温度下可操作的感测器。本发明的感测器的操作无须液体充填,该感测器是无孔隙、无污染,且无外在暴露金属元件。该感测器包括一无孔隙不渗透的感测隔膜,其可置于高度洁净环境直接与流体接触。无孔隙表面被包括作为玻璃装配于支撑板的单晶蓝宝石层。本发明的感测器可适用于呈化学惰性的压力传感器,以感测在过程流体中的压力及/或温度,且可直接模制成形为压力传感器模块的高温塑胶壳体。
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“可用于高度洁净及高腐蚀性环境的感测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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