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共面栅阳极碲锌镉探测器的制备方法

1017   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:58
本发明涉及一种共面栅阳极碲锌镉探测器的制备方法,属半导体晶体核探测器制造工艺技术领域。该探测器是由碲锌镉晶体及其阳极和阴极组成,该探测器的制备方法具有以下步骤:先将切割好的、晶面方向为(111)定向的、具有一定尺寸的碲锌镉晶片进行粗抛,细抛,表面化学腐蚀,清洗各工序的表面处理,然后制成电极:电极的制备采用真空蒸发沉积电极,利用光刻技术得到两组共平面交叉指形的微条形阳极,阴极为完整的平面电极,两组阳极和一个阴极均有金丝引线引出;沉积的电极为铬金合金复合电极;最后将未沉积电极镀层的晶片表面进行钝化,最终制得共面栅阳极碲锌镉探测器。本发明方法制得的探测器具有较优的射线能量分辨率。
声明：
“共面栅阳极碲锌镉探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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