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具有集成温度控制和温度传感器的多功能电位测量型气体传感器阵列

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:58
本发明的实施方式涉及用于传感一种或更多种气体的气体传感器和方法。一种实施方式引入了保持在相似或者不同温度下的传感电极阵列,从而使得器件的敏感性和种类选择性可以在不同的传感电极对之间精确调谐。一种特定的实施方式涉及用于监测燃烧废气和/或化学反应副产物的气体传感器阵列。关于本发明的器件的一种实施方式操作在高温下,并能够承受严酷化学环境。器件的实施方式制作在单一基底上。器件还能够被制作在个体基底上,并被个别地监测,就如同它们是单一基底上阵列的一部分一样。器件能够在相同的环境中引入传感电极,这允许电极共平面,并且从而保持制作费用较低。通过表面温度控制,器件的实施方式能够提供敏感性、选择性以及信号干扰的改善。
声明：
“具有集成温度控制和温度传感器的多功能电位测量型气体传感器阵列” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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