本发明提供一种用于晶圆测试的探针针尖的清洁液、清洁装置及方法,该清洁装置包括清洁槽,装载清洁液,清洁液包括以下组分:H3PO4、HNO3和H2O,其中,H3PO4的质量占清洁液的总质量的88‑93%,HNO3的质量占清洁液的总质量的3‑7%,H2O的质量占清洁液的总质量的1‑5%;加热装置,设置于所述清洁槽的下侧;温度计,设置于所述清洁槽内。本发明采用清洁液只消耗扎在探针针尖上的铝屑,而不会和探针的主要材料钨发生化学反应,减小了探针的磨耗率,延长了探针的寿命,降低了企业经济成本,提高了生产效益,本发明清洁探针针尖更彻底,增加产品一次检测良率,减少机台重测的时间,提高了工作效率。
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“用于晶圆测试的探针针尖的清洁液、清洁装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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