一种用于液相测量的压电传感器及封装方法,其特征在于采用一个表面具有附着金属膜的绝缘板与至少一个压电敏感器件相连,实现集成一体的结构封装与电气连接。其中压电敏感器件的边缘密封固定到绝缘板上的通孔底部以实现压电敏感器件单面与被测液体接触,压电敏感器件的金属电极则通过绝缘板上的金属膜走线与驱动或检测电路连接。本发明提出的传感器及封装方法简单可靠,使用方便,且成本低。本发明可以制成一次性使用的压电传感器或传感器阵列应用到各种液相测量中,包括医疗诊断、生物化学分子测定和环境污染检测等应用领域。
声明:
“用于液相测量的压电传感器及封装方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)