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紫外探测器制备方法及紫外探测器

1059   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:24:12
本发明公开了一种紫外探测器制备方法及紫外探测器，其中，制备方法包括在预设衬底上依次生长成核层、缓冲层、牺牲层和目标层；通过旋涂光刻技术对所述目标层进行光刻，得到感光阵列；将所述感光阵列与背部电极进行原位键合，并通过对所述牺牲层进行电化学腐蚀，制备得到目标紫外探测器。本发明实施例能够通过将原位键合与电化学剥离技术相结合，将氮化物外延阵列结构从预设衬底上进行大面积的剥离，降低了面阵探测芯片集成的成本和难度，可广泛应用于微电子技术领域。
声明：
“紫外探测器制备方法及紫外探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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