本发明公开了一种紫外探测器制备方法及紫外探测器,其中,制备方法包括在预设衬底上依次生长成核层、缓冲层、牺牲层和目标层;通过旋涂光刻技术对所述目标层进行光刻,得到感光阵列;将所述感光阵列与背部电极进行原位键合,并通过对所述牺牲层进行
电化学腐蚀,制备得到目标紫外探测器。本发明实施例能够通过将原位键合与电化学剥离技术相结合,将氮化物外延阵列结构从预设衬底上进行大面积的剥离,降低了面阵探测
芯片集成的成本和难度,可广泛应用于微电子技术领域。
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