合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法

基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法

677   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:25
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种基于压力测量模块的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室；沉积室内设有压力测量模块，压力测量模块与控制部件电连接。本发明还提供一种基于压力测量模块的原子层沉积设备的使用方法。本发明通过采用压力测量模块可使气体流量和化学试剂利用率得到极好的平衡，减少化学试剂的浪费以及后期尾气可能造成的污染；同时通过对清理气体流量的调节，可有效的降低清除气体停留时间和化学试剂的去除时间，进而降低沉积反应周期时间，在短时间内加工出所需厚度的膜层。
声明：
“基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：储能用磷酸铁锂电池安全管理系统的质态失衡预测方法
下一个：应用于氨逃逸测量校准设备的加热装置

与 “基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法” 相关技术

▪ 基于高炉温控管理的高炉定量加料装置
▪ 碳化电炉石墨电极优化使用方法
▪ 硅铝合金冶炼炉开炉眼装置
▪ 冶金灌注装置
▪ 耐腐蚀、高塑性的镁合金及其制备方法
▪ 含镍废水效处理物化-膜法技术
▪ 冶炼废水处理药剂法除铊技术
▪ 用于光伏组件制造的光伏电池片焊接装置
▪ 用于处理覆铜陶瓷基板生产含铜废水的综合回收处理装置
▪ 高砷水净化工艺

相关化学分析设备推荐

便携式甲烷红外检测仪
GS40 系列多气体检测仪
管式土壤墒情监测记录仪
土壤温湿度盐分速测仪 土壤测试仪
梅思安便携式多气体报警仪ALTAIR4XR 多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于高炉温控管理的高炉定量加料装置
▪碳化电炉石墨电极优化使用方法
▪硅铝合金冶炼炉开炉眼装置
▪冶金灌注装置
▪耐腐蚀、高塑性的镁合金及其制备方法
▪含镍废水效处理物化-膜法技术
▪冶炼废水处理药剂法除铊技术
▪用于光伏组件制造的光伏电池片焊接装置
▪用于处理覆铜陶瓷基板生产含铜废水的综合回收处理装置
▪高砷水净化工艺

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
第三届全国核材料产学合作高峰论坛
第三届全国核材料产学合作高峰论坛
2025年04月11日 ~ 13日
能源材料大会
能源材料大会
2025年04月24日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记