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制造具有两个或更多个终点检测窗口的抛光垫的方法

612   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:20:08
可以通过以下制成一种具有两个或更多个终点检测窗口的化学机械抛光垫：提供结构，该结构包括抛光层，该抛光层具有限定水平方向的顶表面、底表面、以及从该顶表面延伸到该底表面的两个或更多个孔口，其中，该两个或更多个孔口中的每个孔口具有位于该孔口中的透明窗口，其中，这些窗口中的每个窗口具有从该抛光层的底表面向外延伸的部分，其中，该两个或更多个孔口彼此相距选定的距离；在该底表面和这些窗口的从该底表面向外延伸的部分上施加子垫材料；并且通过移除该子垫材料的一部分，露出这些窗口，并且其中，该两个或更多个孔口彼此保持该选定的距离。
声明：
“制造具有两个或更多个终点检测窗口的抛光垫的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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