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法布里帕罗结构耦合腔传感芯片及其制备方法和检测系统

909   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:37
本发明属于光学传感器技术领域，具体为一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片及其制备方法和测试系统。本发明的传感芯片包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管；两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔；中间平面反射镜与下部平面反射镜形成参考腔；方形石英微管为中空结构，两端开口，可以与微流空系统结合；本发明可将传统法布里帕罗谐振腔传感芯片的灵敏度进行20‑40倍的放大，避免了传统法布里帕罗谐振腔传感器对高品质因子的需求，可以实现对于超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测；此法布里帕罗结构耦合腔制作方便，操作简单，整体设计成本较低。
声明：
“法布里帕罗结构耦合腔传感芯片及其制备方法和检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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