本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法,包括:将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上;进行一抛光垫磨合制作工艺,利用一调节盘研磨所述抛光垫,其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置;以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中,以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化,其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值,将所述抛光垫从所述基座上剥离,再另粘贴一抛光垫。
声明:
“在线检测抛光垫下方气泡的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)