合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 在线检测抛光垫下方气泡的方法

在线检测抛光垫下方气泡的方法

678   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:37
本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法,包括:将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上;进行一抛光垫磨合制作工艺,利用一调节盘研磨所述抛光垫,其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置;以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中,以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化,其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值,将所述抛光垫从所述基座上剥离,再另粘贴一抛光垫。
声明:
“在线检测抛光垫下方气泡的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记