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在线检测抛光垫下方气泡的方法

637   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:37
本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法，包括：将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上；进行一抛光垫磨合制作工艺，利用一调节盘研磨所述抛光垫，其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置；以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化，其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值，将所述抛光垫从所述基座上剥离，再另粘贴一抛光垫。
声明：
“在线检测抛光垫下方气泡的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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