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对晶片保持设备上的电镀的远程检测

746   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:17:29
本文描述了用于检测在电镀设备的衬底保持器上是否存在不需要的金属沉积物的方法和设备。在多种实施方案中，镀覆传感器用于检测不需要的金属沉积物。镀覆传感器可以安装在离其测量区域(例如，传感器目标区域)相对较远的位置。例如，镀覆传感器可以在电镀设备的一侧上(在某些情况下安装在防滴罩上)，并且传感器目标区域可以在电镀设备的相对侧上。以这种方式，镀覆传感器可以跨越电镀设备测量。该放置为镀覆传感器提供了相对较深的聚焦深度，并在镀覆传感器和电镀化学物质之间提供了一定的物理分离。这两个因素都会导致更可靠的检测结果。
声明：
“对晶片保持设备上的电镀的远程检测” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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