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基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法及装置

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:13:10
本发明公开了一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法及装置，应用于元件级电子器件裂纹的检测，所述方法包括以下步骤：获取待测元件表面的辐射场强度；基于所述辐射场强度，建立待测元件表面的不连续图像的成像；根据所述不连续图像的成像，确定待测元件表面的裂纹信息，本发明还提供用于实施上述方法的装置，通过对元件表面裂纹进行间接性的检测识别，避免了静电、化学、物理等因素对元件的二次损伤，同时通过热反应原理对元件表面裂纹进行检测，提高了检测的准确性和安全性。
声明：
“基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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