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大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法

798   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:36
大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法，包括研 磨，抛光：机械抛光或化学抛光，采用化学抛光液配方为硫酸∶ 双氧水∶水＝3∶1∶1；位错腐蚀，将氢氧化钾放在银坩埚内 加热，使氢氧化钾熔化加热至澄清状态时即放入晶片试样进行 腐蚀，然后取出试样，冷却后用清水冲洗，吹干；进行测量方 向、测量点位置、数目和测量视场、观察视场面积的选取，第 一个测量点选取在距晶片边缘的D/10mm处，其它测量点每间 隔10mm为一个测量视场；最后对选取的测量点进行计算。本 发明能够准确检测大尺寸砷化镓的结构缺陷，扩大了位错密度 检测范围，不仅对砷化镓单晶、晶向进行检测，还 可以对晶向进行检测，操作简便、节省时间。
声明：
“大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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