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准分子激光气中微量氟的检测方法

699   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:36
本发明涉及一种准分子激光气中微量氟的检测 方法，包括以下步骤：1)将含有微量氟的激光气通入 Al2O3反应管中，使氟气与 Al2O3充分反应，产生氧气和 AlF3，反应化学式为 6F2+2Al2O3→ 4AlF3+3O2；2)将反应后的尾气通入气象色谱仪中，利用气象色 谱仪测定尾气中氧气的含量；3)根据测定出的氧气的含量，结 合反应化学式，计算出激光气中氟的含量。由于以氟气与 Al2O3反应所产生的氧气代替氟气在色谱仪中进行检测，因此不 会产生对检测仪器的损害，也保证了检测结果，而且由于微量 氧含量的检测已经是一项较为成熟的技术，其标准物质的配置 也较为容易，因此也保证了检测结果的准确性。
声明：
“准分子激光气中微量氟的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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