合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械抛光二氧化硅和氮化硅的多步方法

化学机械抛光二氧化硅和氮化硅的多步方法

837   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:06:50
本发明提供了一种对半导体晶片上的氧化硅和氮化硅进行抛光的方法,包括以下步骤,用第一含水组合物对氧化硅平化,该含水组合物包含0.01-5重量%的羧酸聚合物,0.02-6重量%的磨料,0.01-10重量%的聚乙烯基吡咯烷酮,0-5重量%的阳离子性化合物,0-1重量%的邻苯二甲酸和盐,0-5重量%的两性离子化合物,余量为水,其中该聚乙烯基吡咯烷酮的平均分子量为100-1000000克/摩尔。该方法进一步包括,检测平化终点,并用第二含水组合物清除氧化硅,该含水组合物包含0.001-1重量%的季铵化合物,0.001-1重量%的邻苯二甲酸及其盐,0.01-5重量%的羧酸聚合物,0.01-5重量%的磨料,余量为水。
声明：
“化学机械抛光二氧化硅和氮化硅的多步方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：适用于基于改进电解条件的光伏应用Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ层的化学计量比控制
下一个：从头检测核酸中的序列的方法:通过片段化进行的导向测序

与 “化学机械抛光二氧化硅和氮化硅的多步方法” 相关技术

▪ 铜铝复合带材的制备方法
▪ 快速升降温铝合金退火炉
▪ GH3625高温合金管材及其生产工艺
▪ 碲化镉晶体退火装置
▪ 铁钴基非晶纳米晶软磁合金及其制备方法
▪ 便于清理的石墨化炉
▪ 石墨化炉的排废机构
▪ 艾奇逊石墨化炉的出炉设备和出炉方法
▪ 矿石破碎场环保除尘清洗装置
▪ 涡轮淘金机

相关化学分析设备推荐

积温仪 土壤测试仪
简易型土壤采样器
土壤养分速测仪
ZHT-49CC汽油动力土壤采样器
水滴角测量仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏通用技术 北京矿山技术 江苏冶金技术 北京冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪铜铝复合带材的制备方法
▪快速升降温铝合金退火炉
▪GH3625高温合金管材及其生产工艺
▪碲化镉晶体退火装置
▪铁钴基非晶纳米晶软磁合金及其制备方法
▪便于清理的石墨化炉
▪石墨化炉的排废机构
▪艾奇逊石墨化炉的出炉设备和出炉方法
▪矿石破碎场环保除尘清洗装置
▪涡轮淘金机

报名参会
更多+

2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月21日 ~ 23日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
2025年04月11日 ~ 13日
中冶有色网
中冶有色网
2031年03月31日 ~ 31日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:127
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:102
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:95
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:93
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:92
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:89
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:88
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:87
10 制样室装修设计技巧
下载:86
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记