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清洗系统及其化学气相沉积设备

854   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:06:49
本实用新型涉及一种清洗系统，用于真空管道清洗，包括检测装置、离化装置、抽吸装置和开关装置，所述检测装置设于真空管道上并用于检测真空管道内沉积物的含量，所述离化装置连接真空管道并用于将能与沉积物反应的清洁物质注入真空管道，所述抽吸装置连接并用于抽吸真空管道，所述开关装置设于真空管道上并用于在沉积物的含量超过预设上限值时切断真空管道。如此一来，清洗真空管道时，可以免去拆卸真空管道的麻烦，而且无需送外清洗，节省了清洗时间和成本，特别地，在线清洗可以缩短生产设备的停机时间，提高生产效率。
声明：
“清洗系统及其化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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